Es besteht ein komplexes und miteinander verbundenes Produktionssystem, zu dem die Fertigungsanlagen selbst, das Transportsystem und die Robotik gehören und das sich zum Teil über verschiedene Etagen erstreckt. Zentrale Merkmale des Produktionssystems sind die integrierte Fertigungssteuerung, in der die Fertigungsinformationen in Echtzeit vorliegen und die vollautomatisierte Anlagenbedienung in nahezu allen Anlagenbereichen.
Jeder einzelne Wafer ist über einen Lasermarker markiert und so einem bestimmten Los zugeordnet. Die Lose sind mit RFID-Chips versehen, in denen alle Prozess- und Qualitätsdaten gespeichert werden und jederzeit eingesehen werden können. Die Roboter enthalten RF-Tags, über die sie das Material (Lose) identifizieren. Diese Informationen geben sie an ein Leit-Rechnersystem (Lead Time Dispatcher), das dem Roboter die Informationen gibt, auf welche Anlage das Los zu platzieren ist. Es findet eine Prozessüberwachung und Selbstoptimierung statt, so dass mögliche Fehler erkannt und korrigiert werden. Eine Doppelprozessierung oder das Auslassen von Prozessschritten sind damit ausgeschlossen.
RFID-Chips beinhalten Informationen über die Priorität der Lose. Diese Informationen können bei Bedarf eingesehen werden. Ein Eingriff sollte nur im Störfall erfolgen. Priorisierung von Losen kann über das System verändert werden und so eine schnelle Anpassung an Kundenwünsche erfolgen.
Weiterhin gibt es freifahrende, sich selbständig an Ladestationen aufladende Robotersysteme, die kontinuierlich Parameter der räumlichen Bedingungen erheben (Partikel, Spurengas, Klima, Kontamination), um die Reinraumbedingungen zu überwachen. Position und Messergebnisse werden über WLAN an einen Server übertragen.